「高品質半導体を支えている炭化ケイ素被覆黒鉛の開発」で 「第6回ものづくり日本大賞」四国経済産業局長賞を受賞

2015年11月11日

 東洋炭素株式会社 (本社:大阪市、社長:野網 明) は、「高品質半導体を支えている炭化ケイ素被覆黒鉛の開発」で、「第6回ものづくり日本大賞」四国経済産業局長賞を受賞いたしました。
(受賞者:田片弘和、佐々木清秀、喜多正明、須藤浩二、安藤克則(5名))

 「ものづくり日本大賞」は 、日本の産業・文化の発展を支え、豊かな国民生活の形成に大きく貢献してきたものづくりを着実に継承し、さらに発展させていくため、ものづくりの第一線で活躍する各世代のうち、特に優秀と認められる人材を顕彰する制度であり、経済産業省・国土交通省・厚生労働省・文部科学省が連携し2005年より隔年開催しており、今回で6回目を迎えます。

 「炭化ケイ素被覆黒鉛(SiCコート被覆材 PERMA-KOTE®)」は、基材である等方性高密度黒鉛に、炭化ケイ素膜を被覆した材料で、LEDをはじめとする半導体結晶製造装置における半導体基板の保持体(サセプター)等に使用されています。
 当社は、独自のCVD法(化学蒸着法)により、密着性が高く加熱した際の熱勾配が少ない炭化ケイ素膜を被覆できるコーティング技術の開発に成功。また、黒鉛の製造から加工までを一貫して行っている当社では、高い精度が求められる基材の加工においても、あらゆるサイズの黒鉛を複雑形状かつ高精度に仕上げることが可能です。
 これらの技術を結集し開発された「炭化ケイ素被覆黒鉛(SiCコート被覆材 PERMA-KOTE®)」は、高い純度と精度が求められる高品質な半導体結晶の製造に貢献。この功績が認められ、今般「第6回ものづくり日本大賞」四国経済産業局長賞を受賞する運びとなりました。

 なお、本製品は、今後以下の展示会への出展を予定しております。
  2015年11月10日(火)~12日(木)
   第6回窒化物半導体結晶成長国際シンポジウム(ISGN-6) アクトシティ浜松コングレスセンター

  2015年11月25日(水)~27日(金)
   INCHEM TOKYO 2015 東京ビッグサイト 東ホール ブース no. 2C-02

当社は、創業来のDNAである「どこにもないものをつくる」とのパイオニア精神のもと、今後も高機能分野に特化した独創的で革新的なカーボンを追求してまいります。

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