【会社情報】大口径等方性黒鉛製品増強に関するお知らせ

2020年05月19日

東洋炭素株式会社(以下、当社)は、シリコンウエハーの製造工程などのエレクトロニクス分野に用いられる等方性黒鉛製品の需要増加 に備えるため、詫間事業所(香川県三豊市)に大口径黒鉛製品製造能力増強に向けた設備投資の実施を決定いたしましたのでお知らせいたします。

【投資の背景】

当社の高機能材料事業は、半導体用シリコンウエハー製造工程の構造部品として採用されている黒鉛製品の製造および販売を手掛けております。
IoT、AIなどの進展により半導体需要増加に備え、半導体デバイスの土台となるシリコンウエハーは生産性向上のため大口径化が進み、大口径等方性黒鉛製品の需要が高まっています。 こうした中、当社はグローバル成長戦略の一環として、大口径黒鉛製品の製造力強化のため、建屋の増設と黒鉛素材及び加工設備を増設します。
今後、当社は、お客様のニーズや市場環境を踏まえた生産能力の増強、販売体制の強化といった成長戦略を実行することにより、高機能材料事業の拡大と、エレクトロニクス分野への貢献を目指します。


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詫間事業所(香川県三豊市)

【投資の概要】

(1)導入拠点 詫間事業所(香川県三豊市)
(2)投資内容 等方性黒鉛素材製造、加工等設備投資
(3)投資金額 約35億円
(4)稼働時期 2021年度8月予定


【半導体シリコン製造装置用等方性黒鉛製品について】

単結晶シリコンを引き上げる際、溶解温度は約1500℃と極めて高くなりますが、耐熱性に優れた等方性黒鉛はライフアップに貢献しています。
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半導体用シリコン製造装置内の黒鉛構造部材(カットモデル)

特徴

  • 耐熱性に優れている
  • 熱伝導性に優れている
  • 高密度
  • 高強度
  • 軽量
  • 特性のバラツキが少ないため安定的に使用できる
  • 超高純度処理が可能
  • ■黒鉛製品例

    るつぼ

    シリコン単結晶を製造する際、石英るつぼを保持するために、高強度で消耗の少ない当社の等方性高純度黒鉛るつぼが最適です。

    ヒーター

    熱伝導率のよい等方性黒鉛は半導体・太陽電池製造用の発熱体として必要不可欠な材料です。 当社は要求抵抗値などの使用条件に合わせたヒーター設計の提案や、複雑な形状の加工が可能です。

    【お問い合わせ先】
    経営企画本部・広報 TEL:06-6472-5840