表面処理材料
SiCコート被覆材 PERMA-KOTE®
半導体製品の急速な高集積化に伴い、炭素材料表面の脱ガス量、発塵量や不純物量の低減など高純度な黒鉛製品が求められ、等方性黒鉛表面にCVD法にてSiC（炭化ケイ素）を被覆したPERMA KOTE®が半導体産業分野を中心に活躍しています。
詳しくみる
熱分解炭素被覆材 PYROGRAPH®
高純度黒鉛材料に当社独自のCVD法により熱分解炭素を被覆した製品がPYROGRAPH®です。ガス透過の低減、反応の抑制などの効果もあり、分析用、高温炉部品、各種治具分野に使用されています。
詳しくみる
ガラス状炭素被覆材 GLASTIX KOTE®
黒鉛基材にガラス状炭素を含浸或いは被覆した材料です。ダスト防止、表面硬さの向上などに効果があり半導体分野、冶金分野の用途を中心に活躍しております。
詳しくみる
製品に関するお問い合せは、お電話と専用フォームにて受付ております。
●お電話によるお問い合せ
●フォームによるお問い合せ
