ガラス状炭素被覆材 GLASTIX KOTE®

GLASTIX KOTE®について

GLASTIX KOTE®の断面状態(材質名:GP2B)

GLASTIX KOTE®は、黒鉛表面および近傍表面に、ガラス状炭素を含浸・被覆した材料です。
当社のあらゆる黒鉛材を基材として使用でき、基材特性を損ないません。引っ掻きなど摩擦に対する耐久性が向上するだけでなく、発塵が抑制された材料です。

特徴

• 当社のあらゆる黒鉛材を基材として使用できます。
• 黒鉛基材の特性を損ないません。
• 黒鉛粉の発生を抑制できます。
• 引っ掻き等など摩擦に対する耐久性が向上します。

使用用途・製品

• シリコン単結晶引き上げ装置部品
• エピタキシャル成長用部品
• 連続鋳造用ダイス
• ガラス封着治具

特性・実験データ

一般物理特性

※黒鉛基材としてISEM-3を使用し、GLASTIX KOTE®「GPシリーズ」処理を行った場合の物理特性測定例
（基材ISEM-3の測定値を基準とした変化率）
テストピース寸法：
10x10x60mm ... かさ密度、硬さ、電気抵抗率、曲げ強さ
10x10x10mm ... 圧縮強さ

ダスト制御効果

GLASTIX KOTE®処理によりカーボンダストの発生を大幅に抑制することができます。
※洗浄液中の微粒子数測定結果による。

引っ掻き強度比較

GLASTIX KOTE®処理により引っ掻きに対する耐久性は約2倍となり、耐摩耗性についても同様な改善が期待できます。
※臨界荷重とは表面が破壊され始めた時の垂直荷重を表す。

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