CVD法にて高純度等方性黒鉛基材に緻密なタンタルカーバイドを被覆した製品です。
EVEREDKOTE®-Bとは、専用に開発した高純度等方性黒鉛基材に当社独自のCVD法にて緻密なタンタルカーバイド膜を被覆した製品の名称であり、以下の特徴を有しています。
○ 高温で安定なタンタルカーバイド膜であり、耐熱性に優れています。
○ 急速な加熱冷却にも強く耐熱衝撃に優れています。
○ エッチングガスに対する耐反応性に優れています。
○ 被覆膜は緻密性に優れ、ガス透過率が極めて低くなります。
○ 黒鉛基材、タンタルカーバイド膜ともに高純度です。
| 元素 | 含有量 |
| B | < 0.01 |
| N | < 5 |
| Na | < 0.01 |
| Mg | < 0.05 |
| Al | < 0.01 |
| Si | 0.14 |
| P | <0.3 |
| S | <0.02 |
| Cl | -0.3wt% |
| Ca | < 0.05 |
| Ti | < 0.005 |
| V | < 0.005 |
| Cr | < 0.1 |
| Mn | < 0.005 |
| Fe | 0.42 |
| Co | < 0.01 |
| Ni | 0.06 |
| Cu | <0.05 |
| Zn | < 0.05 |
| As | < 10 |
| Nb | 1.1 |
| Mo | 1.6 |