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TaC(炭化タンタル)被覆黒鉛材　EVEREDKOTE®-B

CVD法にて高純度等方性黒鉛基材に緻密なタンタルカーバイドを被覆した製品です。

EVEREDKOTE®-Bは、当社独自のCVD法にて高純度等方性黒鉛基材に緻密なTaC(タンタルカーバイド)膜を被覆した材料です。

ガラス状炭素被覆材 GLASTIX KOTE®写真
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製品概要

EVEREDKOTE®-Bは、当社独自のCVD法にて高純度等方性黒鉛基材に緻密なTaC(タンタルカーバイド)膜を被覆した材料です。

特長

特長

・耐熱性に優れています。
・黒鉛粉の離脱や飛散、黒鉛基材からのガスや不純物の放出を防止できます。
・エッチングガスに対する耐反応性に優れています。

使用用途例

・SiC単結晶成長用部材
・MOCVD用部材
・耐高温部材

特性・実験データ

■一般物理特性

項目 タンタルカーバイド
かさ密度 14.5Mg/㎥
融点 3985℃
硬さ 1550HK
電気抵抗率 0.15μΩ・m
熱伝導率 9-22（W/m・K）
線熱膨張率 7.1（106/K）

※上記数値は文献値であり、保証値ではありません。
出典：H.Holleck:Material selection for hard coatings, J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.4, No.6, Nov/Dec 1986


■各種物質との反応性

反応物質 1200℃×5h 1600℃×5h
塩化水素 ◎ ◎
アンモニア ◎ ◎
水素 ◎ ◎
酸素 ×（600℃以上）

※◎...反応なし　×...著しく反応

塩化水素反応試験：20Torr, HCl/H2=0.30/2.70 L/min（10%）
アンモニア反応試験：20Torr, NH3/H2=0.5/2.0 L/min（20%）
水素反応試験：20Torr, H2 3.0 L/min
酸素：低濃度酸化雰囲気で被覆にクラック、脆化が発生。

EVEREDKOTE®-Bの表面および断面組織写真

アンモニアガスとの反応性

放射率

タンタルカーバイド膜の不純物分析(単位：mass ppm)

元素 含有量
B < 0.01
N < 5
Na < 0.01
Mg < 0.05
Al < 0.01
Si  0.14
P <0.3
S <0.02
Cl -0.3wt%
Ca < 0.05
Ti < 0.005
V < 0.005
Cr < 0.1
Mn < 0.005
Fe  0.42
Co < 0.01
Ni 0.06
Cu <0.05
Zn < 0.05
As < 10
Nb 1.1
Mo 1.6

※1 < :検出下限未満を示す
※2 上記数値は測定例であり、保証値ではありません。

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