熱分解炭素被覆材 PYROGRAPH®

高純度黒鉛材料に当社独自のCVD法により熱分解炭素を被覆した製品がPYROGRAPH®です。ガス透過の低減、反応の抑制などの効果もあり、分析用、高温炉部品、各種治具分野に使用されています。

熱分解炭素被覆材 PYROGRAPH®写真
断面偏光顕微鏡写真

特長

概要

  • きわめて緻密であり高密度である。
  • 超高純度である。
  • 低温域での耐酸化性に優れる。
  • 耐薬品性に優れる。
  • ガスの放出量が極めて少なくなる。

使用用途・製品

  • ガス不浸透性反応管
  • 半導体用サセプター、ボード、治具
  • 原子吸光用チューブ
  • 金属溶解るつぼ

一般物理特性

項目 単位 被覆面に平行 被覆面に垂直
かさ密度 Mg/m3 2.2 2.2
硬さ HSD 100
電気抵抗率 μΩ・m 2.00~4.00 2~5×103
線熱膨張率 10-6/K 1.7 28
引張強さ MPa 98~147 極めて弱い
ヤング率 GPa 29~39
熱伝導率 W/(m・K) 170~420 2~4

※熱膨張係数の温度範囲はRT~1000℃です。
※上記数値は文献値であり、保証値ではありません。

PYROGRAPH®の断面形状

熱分解炭素被膜は、柱状組織をしており、極めて緻密であることがわかります。

元素 含有量
B < 0.01
Na 0.03
Al 0.02
Cr < 0.1
Fe < 0.01
Ni < 0.01

※測定方法:グロー放電質量分析
※上記は測定例であり、保証値ではありません。