熱分解炭素被覆材 PYROGRAPH®

PYROGRAPH®は、高純度等方性黒鉛基材に、東洋炭素独自のCVD(化学気層成長)法により、熱分解炭素を被覆した製品です。

熱分解炭素被覆材 PYROGRAPH®写真
断面偏光顕微鏡写真

特長

特長

  • 熱分解炭素被膜は、きわめて緻密です。
  • 超高純度です。
  • 被覆膜により、ガス透過率がきわめて低くなります。
  • ガスに対する耐食性に優れています。
  • 耐酸化性に優れています。
  • 耐熱性に優れています。
  • 黒鉛粉の離脱や飛散、黒鉛基材からのガスや不純物の放出を防止できます。

使用用途・製品

  • 原子吸光キュベット
  • シリコン単結晶引上げ装置部品
  • 有機EL製造装置部品

特性データ

■一般物理特性

項目 単位 被覆面に平行 被覆面に垂直
かさ密度 Mg/m3 2.2 2.2
硬さ HSD 100
電気抵抗率 μΩ・m 2.00~4.00 2~5×103
線熱膨張率 10-6/K 1.7 28
引張強さ MPa 98~147 極めて弱い
ヤング率 GPa 29~39
熱伝導率 W/(m・K) 170~420 2~4

※熱膨張係数の温度範囲はRT~1000℃です。
※上記数値は文献値であり、保証値ではありません。

■不純物分析例

元素 含有量
B < 0.01
Na 0.03
Al 0.02
Cr < 0.1
Fe < 0.01
Ni < 0.01

※測定方法:グロー放電質量分析
※上記は測定例であり、保証値ではありません。