等方性黒鉛やそれに表面処理をした材料が「化合物半導体製造用部材」として使用されている説明動画です。
LEDやパワー半導体の製造用部材として、均熱性や高純度が求められ、
等方性黒鉛にSiCやTaCをコーティングした製品が使用されています。